电子显微镜的放大倍数最高可达近百万倍（约300万倍左右，当然隧道显微镜就不同了，300000000倍左右。）、由照明系统、成像系统、真空系统、记录系统、电源系统5部分构成，如果细分的话：主体部分是电子透镜和显像记录系统，由置于真空中的电子枪、聚光镜、物样室、物镜、衍射镜、中间镜、投影镜、荧光屏和照相机。